拓荊科技股份有限公司成立于2010年4月，是國家高新技術(shù)企業(yè)，主要從事高端半導(dǎo)體專用設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)、銷售與技術(shù)服務(wù)。公司多次承擔(dān)國家重大專項(xiàng)。2016年、2017年、2019年獲評(píng)中國半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會(huì)授予的 中國半導(dǎo)體設(shè)備五強(qiáng)企業(yè) 稱號(hào)。公司于2020年在北京、上海、海寧成立三家子公司。
公司主要產(chǎn)品包括等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積（PECVD）設(shè)備、原子層沉積（ALD）設(shè)備和次常壓化學(xué)氣相沉積（SACVD）設(shè)備三個(gè)產(chǎn)品系列，擁有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)，技術(shù)指標(biāo)達(dá)到國際同類產(chǎn)品先進(jìn)水平，產(chǎn)品主要應(yīng)用于集成電路晶圓制造，以及TSV封裝、光波導(dǎo)、Micro-LED、OLED顯示等高端技術(shù)領(lǐng)域。公司在北京、上海、武漢、合肥、天津、臺(tái)灣等20多個(gè)地區(qū)的近40條生產(chǎn)線都設(shè)有技術(shù)服務(wù)中心，為客戶提供每周7天，每天24小時(shí)的技術(shù)服務(wù)
